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CONEM 2018
X Congresso Nacional de Engenharia Mecânica
Influência do teor de háfnio em filmes finos de nitreto de zircônio (ZrN) depositados por magnetron sputtering
Submission Author:
Ikaro Arthur Dantas Santos , SE
Co-Authors:
Ikaro Arthur Dantas Santos, Givanilson Brito de Oliveira, Matheus Barbosa, Eduardo Tentardini, Vagner Soares
Presenter: Ikaro Arthur Dantas Santos
doi://10.26678/ABCM.CONEM2018.CON18-0933
Abstract
Filmes de ZrN foram produzidos a partir da técnica de magnetron sputtering reativo adicionando diferentes teores de háfnio. Os filmes produzidos foram caraterizados por difração de raios X, EDS, RBS e nanodureza. Os resultados dos padrões de raios X mostraram deslocamentos dos picos provocados pelo aumento do teor de háfnio nos filmes. Os ensaios de nanodureza mostraram que os filmes com maiores concentrações de háfnio apresentaram maiores valores de dureza e módulo de elasticidade.
Keywords
Filmes Finos, nitreto de zircônio, magnetron sputtering
