| Título
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RELAÇÃO ENTRE A TRANSFORMAÇÃO DE FASE E A
DEFORMAÇÃO PLÁSTICA EM SILÍCIO ESTUDADA ATRAVÉS DE MICROINDENTAÇÃO
E ESPECTROSCOPIA RAMAN |
| Resumo
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Amostras
de Si com orientação (100) foram torneadas com ferramenta de diamante sob
condições de corte pelas quais o regime dúctil é obtido. O objetivo
deste estudo é demonstrar que as propriedades mecânicas do silício
usinado em regime dúctil são alteradas devido a transformação de fase
induzida por pressão/tensão. Ensaios de microindentação antes e após o
torneamento em regime dúctil foram realizados. Os resultados mostram que a
microdureza do silício cristalino, para cargas diferentes, diminuiu após o
torneamento em regime dúctil. Através de Espectroscopia Micro-Raman
detectou-se alterações estruturais nas superfícies usinadas assim como no
interior das microindentações das amostras polidas (Si-I). No ponto mais
central da indentação foi detectado apenas silício amorfo. Além disso, o
estado de tensão residual na superfície usinada e no interior das marcas
foram estimados através de espectroscopia micro-Raman.
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| Title
: |
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RELATIONSHIP
BETWEEN PHASE TRANSFORMATION AND PLASTIC DEFORMATION IN SILICON CRYSTAL
INVESTIGATED BY MEANS OF MICROINDENTATION AND RAMAN SPECTROSCOPY |
| Abstract
: |
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The objective of this work is to study structural
alteration induced by machining in single crystal silicon. The technique
used to probe structural alteration was Raman spectroscopy. The machined and
unmachined samples were tested by means of microindentations. The
indentation mark was probed by Raman scatering and is totally amorphous. The
microhardness of the machined surface is smaller than the bulk silicon. The
machined surface presented an amorphous phase with sign of crystalline
silicon. However, the difference in microhardness corroborates well with the
transition pressure value for both crystal and amorphous state.
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| Autores
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Jasinevicius, R. G.
Duduch, J. G.
Pagotto, C. R.
Pizani, P. S.
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| Trabalho
Completo : |
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1o.
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