Usinagem  - USI 9

Título :

RELAÇÃO ENTRE A TRANSFORMAÇÃO DE FASE E A DEFORMAÇÃO PLÁSTICA EM SILÍCIO ESTUDADA ATRAVÉS DE MICROINDENTAÇÃO E ESPECTROSCOPIA RAMAN

Resumo :
Amostras de Si com orientação (100) foram torneadas com ferramenta de diamante sob condições de corte pelas quais o regime dúctil é obtido. O objetivo deste estudo é demonstrar que as propriedades mecânicas do silício usinado em regime dúctil são alteradas devido a transformação de fase induzida por pressão/tensão. Ensaios de microindentação antes e após o torneamento em regime dúctil foram realizados. Os resultados mostram que a microdureza do silício cristalino, para cargas diferentes, diminuiu após o torneamento em regime dúctil. Através de Espectroscopia Micro-Raman detectou-se alterações estruturais nas superfícies usinadas assim como no interior das microindentações das amostras polidas (Si-I). No ponto mais central da indentação foi detectado apenas silício amorfo. Além disso, o estado de tensão residual na superfície usinada e no interior das marcas foram estimados através de espectroscopia micro-Raman.
Title  :

RELATIONSHIP BETWEEN PHASE TRANSFORMATION AND PLASTIC DEFORMATION IN SILICON CRYSTAL INVESTIGATED BY MEANS OF MICROINDENTATION AND RAMAN SPECTROSCOPY

Abstract :
The objective of this work is to study structural alteration induced by machining in single crystal silicon. The technique used to probe structural alteration was Raman spectroscopy. The machined and unmachined samples were tested by means of microindentations. The indentation mark was probed by Raman scatering and is totally amorphous. The microhardness of the machined surface is smaller than the bulk silicon. The machined surface presented an amorphous phase with sign of crystalline silicon. However, the difference in microhardness corroborates well with the transition pressure value for both crystal and amorphous state.
Autores :
Jasinevicius, R. G.
Duduch, J. G.
Pagotto, C. R.
Pizani, P. S.
Trabalho Completo :


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